肺纤维化的患者往往合并有低氧血症，它往往是单纯的低氧血症，所以可以给予高浓度的氧已迅速提高氧分压，而不必担心二氧化碳潴留的发生，氧疗一开始就可以调节氧浓度接近40%，以后可以根据动脉血气分析的结果调整吸氧浓度，氧分压要让目标值往往定在60-80毫米汞柱，经过高浓度吸氧以后患者的组织缺氧可以得到明显的改善，心肺功能可以得到相应的缓解。